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隨著信息時(shí)代的不斷進(jìn)步，半導(dǎo)體等電子行業(yè)越來(lái)越重要，其中，電子氣體作為電子行業(yè)支撐性原料，其質(zhì)量決定了電子產(chǎn)品的性能。鍺烷就是一種重要的電子工業(yè)用原料氣體，是制造高純鍺和各種硅鍺合金的重要原材料，同時(shí)，因其危險(xiǎn)的氣體性質(zhì)，供氣和使用都需通過(guò)特氣系統(tǒng)來(lái)實(shí)現(xiàn)。
什么是鍺烷？
鍺烷（GeH4）是一種無(wú)色、劇毒、可自燃、非腐蝕性氣體。關(guān)于鍺烷的氣體性質(zhì)，熱穩(wěn)定差，較高溫度時(shí)（大概280℃）會(huì)分解成鍺和氫氣；自催化性很強(qiáng)，易發(fā)生分解爆炸，危險(xiǎn)性很高！
鍺烷的用途
鍺烷（GeH4）是制造高純鍺和各種硅鍺合金的重要原材料，主要用于半導(dǎo)體,光伏太陽(yáng)能和集成電路行業(yè)。比如，在MOCVD（金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積）工藝中，鍺烷（GeH4）常和硅烷，通過(guò)特氣系統(tǒng)的輸送，作為氣體原材料，生成硅-鍺薄膜。
在半導(dǎo)體集成電路電子器件制造中，鍺烷作為硅-鍺(Si-Ge)膜的前驅(qū)氣體，參與制造。如在異質(zhì)結(jié)二極晶體管（HBT）中，薄硅鍺層作為二極晶體管的基底生長(zhǎng)在硅片上，與傳統(tǒng)的硅二極晶體管相比，硅-鍺HBT在速度、響應(yīng)頻率和增益上具有明顯的優(yōu)勢(shì)，其速度和頻率響應(yīng)可以與更昂貴的鎵-砷HBT相比。
鍺烷特氣系統(tǒng)的作用
作為半導(dǎo)體行業(yè)的常用電子氣體，大多都是危險(xiǎn)性氣體，如硅烷、鍺烷。這些特殊氣體如果使用普通的的供氣系統(tǒng)，會(huì)具有很大的危險(xiǎn)，容易導(dǎo)致事故的發(fā)生，威脅到生產(chǎn)人員安全。所以需要使用一種對(duì)安全性有著更高要求的供氣系統(tǒng)，也就是電子特氣系統(tǒng)。
鍺烷特氣系統(tǒng)由鍺烷特氣柜、氣體閥門分配箱VMB、耐腐蝕的316L不銹鋼管路及氣體泄漏監(jiān)測(cè)報(bào)警系統(tǒng)組成，主要的作用是保護(hù)氣體的純度、安全、提供穩(wěn)定的氣體壓力和不間斷供氣。
以上，就是關(guān)于鍺烷及鍺烷特氣系統(tǒng)的簡(jiǎn)單介紹，除此之外，鍺廣泛應(yīng)用與紅外光學(xué)、光纖、催化劑、醫(yī)藥、食品等領(lǐng)域，而鍺烷是高純單質(zhì)鍺的重要來(lái)源之一。
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